Máy dò rò rỉ khí Silane SiH4 XP-703DIII Cosmos

1. Máy dò rò rỉ khí Silane SiH4 XP-703DIII Cosmos

Máy dò rò rỉ khí Silane SiH4 XP-703DIII Cosmos là thiết bị cầm tay (Portable) dùng để kiểm tra nồng độ khí của nhà máy sản xuất chất bán dẫn trong không khí.

ĐẶC ĐIỂM

• Có thể phát hiện lượng vết của các loại khí sản xuất chất bán dẫn khác nhau.
• Chức năng bơm tự động dừng
• Chế độ xả khí tự động
• Tương đương với IP22 (trong trường hợp mềm)

2. Thông số kỹ thuật máy dò rò khí Silane SiH4

Nguyên tắc phát hiện	Cảm biến bán dẫn dây nhiệt
Phương pháp lấy mẫu	Bơm hút
Tỷ lệ rò rỉ có thể phát hiện	H 2 : 5,07 x 10-7, AsH 3 : 2,53 x 10-7, B 2 H 6 : 1,01 x 10-7, SiH 4 : 2,53 x 10-7, PH 3 : 1,52 x 10-7
Nồng độ khí có thể phát hiện	H 2 : 1,0ppm, AsH 3 : 0,5ppm, B 2 H 6 : 0,2ppm, SiH 4 : 0,5ppm, PH 3 : 0,3ppm
Thời gian đáp ứng	Trong vòng 10 giây (đối với 300% nồng độ khí có thể phát hiện)
Nguồn cấp	Kích thước pin kiềm AA x 2
Tuổi thọ pin * 1	Khoảng 12 giờ (với pin kiềm cỡ AA)
Mức độ bảo vệ	Tương đương với IP22
Áp suất làm việc	Áp suất khí quyển (800 đến 1100 hPa)
Nhiệt độ hoạt động / Độ ẩm	0 đến + 40 ° C Ít hơn 85% RH (không ngưng tụ)
Kích thước	Khoảng W38 x H130 x D32 mm (không bao gồm phần nhô ra)
Trọng lượng	Khoảng 190g (bao gồm pin và vỏ mềm)
Phụ kiện	Vỏ mềm, Bộ lọc thoát nước, Bộ lọc thay thế, Đầu dò khí, Bộ lọc bụi, Dây đeo tay, Pin AA Alkaline kích thước x 2, v.v.

3. Vì sao cần đo khí SiH4

Silan, còn được gọi với cái tên khác là Silic hydrua là một hợp chất vô cơ có thành phần chính gồm hai nguyên tố silic và hidro, có công thức hóa học được quy định là SiH₄, với một nhóm 14 hydrua. Nó là một loại khí không màu, dễ bắt lửa, có mùi hôi thối, tương tự như mùi axit axetic. Silane được quan tâm như một tiền thân của silic nguyên tố.

“Silane” dùng để chỉ nhiều hợp chất với bốn nhóm thế trên silic, bao gồm hợp chất organosilicon. Ví dụ như trichlorosilan (SiHCl₃), tetrametylsilane (Si(CH₃)₄), và tetraethoxysilan (SiOC₂H₅)₄).

Một số tai nạn lao động chết người do sự đốt và nổ của silan bị rò rỉ trong không khí đã được báo cáo.

Nếu một dòng silan bị rò rỉ bị tắc nghẽn hoặc hạn chế, sự giải phóng năng lượng do sự đốt cháy tập trung hơn dẫn tới tốc độ phản ứng nhanh và vận tốc cháy lên đến sự nổ tung pha khí và dẫn đến các thiệt hại nghiêm trọng. Silane có thể tự cháy ở nhiệt độ dưới 54 °C (130 °F).

SiH₄(g) + 2O₂(g) → SiO₂(s) + 2H₂O(g)

Link Website

Link Youtube

Link Facebook

Link Google Driver

Link Blog

Danh mục: Đo khí độc vô cơ

Danh sách khí đo (cảm biến)